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解説
ナノ・エレクトロニクスとナノ・テクノロジーの展望
Prespective on Nano-Electronics and Nano-Technology
菅野 卓雄
1
Takuo Sugano
1
1東洋大学工学部電気電子工学科
pp.51-58
発行日 1993年2月15日
Published Date 1993/2/15
DOI https://doi.org/10.11477/mf.2425900530
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はじめに
ナノ・テクノロジー(nano-technology)という用語は国際的にも次第に定着しつつあるようであるが,もう少し丁寧にいえばナノ・メータ・テクノロジー(nanometer technology)ともいうべきもので,この技術が対象とする寸法がナノ・メータすなわち10-9mを単位として表わすのが適当な程度であることが理由になっている。
ナノ・テクノロジーという概念が普及してくる以前に,マイクロという形容詞を付した用語が多く使われていた。電子工学の関連した分野としてはマイクロ・エレクトロニクスなどがその典型であろうが,もちろん一般的には“マイクロ”とは“微小”を意味する形容詞である。
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