機器●X線マイクロアナライザー

　1913年，Moseleyは原子番号とその元素に特有なX線（特性X線）の波長との間の関係について述べ，特性X線を検出することによりこのX線に対応する特定の元素が検出されることを示した^1）．この後Hamosによりマイクロアナライザーの原型が設計された^2）．

　さらにX線マイクロアナライザーはX-ray energy dispersion spectrometer（X線エネルギー分光器）の出現により特性X線の波長ではなく，エネルギー（特性X線エネルギー）を分析の対象とした．このことにより分析の操作が容易になり，さらには定性的分析のみならず定量的分析をも容易にしたのである．