今月の主題 臨床生理検査の自動化
話題
マイクロメカニズムの応用
江刺 正喜
1
Masayoshi ESASHI
1
1東北大学工学部電子工学科
キーワード：
マイクロマシーニング
,
半導体微細加工
,
マイクロ圧力センサ
,
マイクロポンプ
,
化学分析システム
Keyword:
マイクロマシーニング
,
半導体微細加工
,
マイクロ圧力センサ
,
マイクロポンプ
,
化学分析システム
pp.68-71
発行日 1989年1月15日
Published Date 1989/1/15
DOI https://doi.org/10.11477/mf.1542913887
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はじめに
高度な機能を持っていながら侵襲を最小限にできる診断・治療機器を実現する有力な手段として，半導体微細加工技術（マイクロマシーニング）がある1,2）．
SF映画の"ミクロの決死圏"とまではいかなくても，細いカテーテルや内視鏡の先端などにセンサやアクチュエータを取りつければ，体内の局所的な計測や遠隔手術ができる．
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