走査形電子顕微鏡

　走査形電子顕微鏡（SEM）は主として二次電子を用いて，試料表面の凹凸によって構成されている構造を観察する装置である．極めて細く絞られた電子線（プローブ）で試料表面を走査すると，照射された試料の表面から二次電子などが発生する．この発生した二次電子を検出器で受けて，その量的な変化を電気的信号に変換する，この信号で，プローブの走査と同期して走査するブラウン管のビームの輝度を変調することによって，試料像をブラウン管面に再成表示をする（図1）．