9）分析電子顕微鏡

はじめに

　分析電子顕微鏡法（analytical electron microscopy）は，広義の立場で，各種電子顕微鏡と微小部化学分析法の組み合わせや，X線マイクロアナライザー（EPMA）を総称するものであるが，医生物学系では一般に，透過型電顕（TEM）を主体とした狭義の分析電顕を指している（図1）．したがって，ここでも，TEMに微小部元素分析機能を付加した形の分析電顕について解説する．

　分析電顕では，図2に示したように，電子ビームと試料の相互作用の結果生じるさまざまな信号を利用する．電子ビームは容易にそのエネルギーや電流量を制御でき，しかも電子光学系によって，μm（マイクロメーター）やnm（ナノメーター）にまで細く絞ることができるから，極微小部の分析が可能となる点に大きな特長がある．