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ガスクラスターイオンビーム
角谷 賢一朗
1
1神戸大学大学院整形外科
pp.1090-1090
発行日 2022年9月1日
Published Date 2022/9/1
DOI https://doi.org/10.15106/j_seikei73_1090
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近年，電子機器や光学，医療の分野においてマイクロ加工の需要が高まっている．1μm以下の加工となると工具では困難であり，レーザー，イオンビーム，電子ビームなどのエネルギービームによる加工技術が用いられる．
© Nankodo Co., Ltd., 2022
